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洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子洁净度等级表

表 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级


 注:①每个采样点应至少采样3次.
   ②本标准不适用于表征悬浮粒子的物理性,化学性,放射性及生命性.
   ③根据工艺要求确定1~2种粒径.
   ④各种要求粒径D的粒子最大允许浓度Cn由公式(3.0.1)确定,要求的粒径在0.1~5μ m范围,包括0.1μm及5μm.

式中 Cn——大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3).Cn是以四舍五入至相 近的整数,有效位数不超过三位数.

   N——洁净度等级,数字不超出9,洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最 小允许递增量.

   D——要求的粒径(μm).

   0.1——常数,其量纲为μm.

3.0.2 空气洁净度等级所处状态(空态,静态,动态)应与业主协商确定.

3.0.3 空气洁净度的测试方法按附录C要求进行.


 



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