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洁净棚

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洁净棚可采用工业铝材(或不锈钢方管、铁方管喷塑)作为框架,风机滤网机组( FFU )送风,四周悬挂防静电垂帘(或钢化玻璃),也可以采用彩钢板结构,其内部净化级别可达到 100-10000 级。适用于洁净车间内局部净化级别要求高的区域。

特点:

单 向 流( 1—100 级)洁 净 室
1—100 级的洁净室,均采用单向流的气流组织送风方式,即洁净室内的气流在同一截面的任一点,气流的方向和速度均保持一致,这样可以使洁净室气象 “ 活塞 ” 一样,将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。
要实现 “ 活塞 ” 的效果,高效过滤器需要满布屋顶才可以实现单向流的气流组织方向。
非 单 向 流( 1000—10 万级)洁 净 室
1000—10 万级洁净室的气流组织方向和 100 级以上的洁净室不同,室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动,伴有回流或涡流,它主要靠洁净的气流不断稀释室内空气,将室内的污染逐渐排出,来实现净化。
不同的净化等级,主要是依靠单位时间内所送风量的不同来表现的。

洁净度
洁净区域尺寸( feet )
所用 FFU 数目
风量( m3/h )
10/100 级
4x4x7
2
2300
4x8x7
4
4600
6x8x7
6
6900
6x12x7
9
10350
6x16x7
12
13800
6x20x7
15
17250
8x8x7
8
9200
8x10x7
10
11500
8x12x7
12
13800
8x16x7
16
18400
8x20x7
20
23000
10x12x7
15
17250
12x12x7
18
20700
1000 级
6x12x7
2
2300
6x16x7
2
2300
6x20x7
3
3450
8x8x7
2
2300
8x12x7
2
2300
8x16x7
4
4600
8x20x7
4
4600
12x12x7
4
4600
12x16x7
5
5750
12x20x7
6
6900
10000 级
6x12x7
1
1150
6x16x7
1
1150
6x20x7
2
2300
8x12x7
1
1150
8x16x7
2
2300
8x20x7
2
2300
10x12x7
2
2300
12x12x7
2
2300
12x16x7
3
3450
12x20x7
4
4600

 

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